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アズワン 2インチINPウェハ（Prime）研究用[S-C-N/S（100）] 片面ポリッシュ 3枚入

商品説明・詳細
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商品情報

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●グレード：Prime
●材料：InP
●コンディションタイプ／ドーパント：S-C-N／S
●直径：50.05±0.2mm
●方向：（100）±0.5°
●フラットオペーション：EJ
●1次オリフラ：（0-1-1）
●ファーストOF長さ：16±2mm
●2次オリフラ：（0-11）
●セカンドOF長さ：7±1mm
●キャリア濃度：2E18～8E18cm?3
●抵抗率：0.6-3～2.5E-3ohm・cm
●可動性：1000～2000cm2／V・sec
●EPD：Ave＜：5000cm?2
●レーザーマーク：Back side major flat
●エッジラウンディング：0.25mmR（Conform to SEMI Standards）
●厚み：325～375μm
●TTV：Max：10μm
●TIR：Max：10μm
●BOW：Max：10μm
●Warp：Max：15μm
●面状態：Side1：PolishedSide2：Etched
●パッケージ：individual container filled with N?
●Epi-ready：Yes
●数量：3枚（1箱）
●※特注対応品
●▼方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
●▼多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
●▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
入数:1箱(3枚入)

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